MEMS
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 | Vedi anche: méms e mems |
MEMS (
approfondimento)
- (fisica) (elettronica) (tecnologia) (ingegneria) MicroElectroMechanical System: dispositivo di controllo altamente miniaturizzato che integra in un solo frammento di silicio le proprietà elettriche dei semiconduttori con quelle optomeccaniche di altri materiali
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