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Du français oxyde, issu du grec ancien ὀξύς, oxús (« aigu, piquant ») et -ide. Louis-Bernard Guyton-Morveau, dans la Nomenclature chimique, explique : « Nous avons formé le mot oxide qui d'une part rappelle la substance avec laquelle le métal est uni, qui d'autre part annonce suffisamment que cette combinaison de l'oxigène ne doit pas être confondue avec la combinaison acide ». En 1801, la graphie oxyde est adoptée.