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(Électronique, Industrie) Ensemble des opérations chimiques et optiques pour former des structures microscopiques sur la surface d’un substrat.
La photolithographie est le procédé qui permet le transfert de motifs géométriques d’un masque vers une fine couche de résine photosensible qui recouvre une tranche de semi-conducteur.— (François Anceau, Yvan Bonnassieux, Conception des circuits VLSI: Du composant au système, 2007)