dépôt en phase vapeur

Locution composée de dépôt, en et phase vapeur.

dépôt en phase vapeur \de.po ɑ̃ faz va.pœʁ\ masculin

1. (Technique, Industrie) Dépôt, revêtement, généralement en couche mince, par déposition d’atomes ou de molécules à partir de la phase vapeur.
   • Chacun de ces matériaux doit être mis en œuvre selon des techniques adaptées, afin d'en obtenir les propriétés recherchées. Ainsi les métaux peuvent être déposés par des procédés de pulvérisation ou de craquage en phase vapeur ou par électrochimie (cas du cuivre), les oxydes de silicium seront créés par oxydation du silicium qui constitue les wafers ou par dépôt en phase vapeur, etc. — (photolithographie)

(Moins courants)

• déposition en phase vapeur
• dépôt par phase vapeur

• couche mince
• dépôt sous vide ou déposition sous vide

• On distingue classiquement deux catégories de procédés (certains se situent entre deux) :
  • le dépôt chimique en phase vapeur ;
  • le dépôt physique en phase vapeur.
• Bien que les termes dépôt en phase vapeur et dépôt sous vide se recoupent très largement, ils ne sont pas strictement synonymes :
  • l’évaporation sous vide, par exemple, se déroule en général dans un haut vide, en régime moléculaire, où l’on ne peut plus vraiment parler stricto sensu de phase vapeur – d’où aussi l’appellation dépôt par phase vapeur ;
  • à l’inverse, certains procédés de dépôt chimique en phase vapeur sont réalisés sous pression ambiante.
• Certains procédés déposent, outre des atomes ou des molécules, aussi des particules sous forme solide ou liquide (gouttelettes).

• dépôt
• revêtement

Catégories

• • dépôt chimique en phase vapeur
  • dépôt physique en phase vapeur

Techniques

→ voir dépôt sous vide

• Le Grand Dictionnaire terminologique, Office québécois de la langue française (dépôt en phase vapeur)
• Bureau de la traduction du gouvernement du Canada, TERMIUM Plus, 1976-, en ligne → consulter cet ouvrage