sputter yield
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Étymologie
- Nom composé de sputter (« pulvériser ») et de yield (« rendement »), littéralement « rendement de pulvérisation ».
Locution nominale
| Singulier | Pluriel |
|---|---|
| sputter yield \ˈspʌtɚ jiːld\ |
sputter yields \ˈspʌtɚ jiːldz\ |
sputter yield \ˈspʌtɚ jiːld\
- (Physique, Technologie) Rendement de pulvérisation : nombre moyen d’atomes pulvérisés (éjectés) par ion ou atome incident.
Based on empirical equations for sputter yields at normal incidence by N. Matsunami, Y. Yamamura, Y. Itikawa, N. Itoh, Y. Kazumata, S. Miyagawa, K. Morita, R. Shimizu, and H. Tawara, in Energy Dependence of the Yields of Ion-Induced Sputtering of Monatomic Solids, IPPJ-AM-32 (Institute of Plasma Physics, Nagoya University, Japan, 1983).
— (Michael Schmid, A Simple Sputter Yield Calculator sur Université technique de Vienne – TU Wien, 2023)- Basé sur des équations empiriques pour les rendements de pulvérisation à incidence normale par N. Matsunami, Y. Yamamura, Y. Itikawa, N. Itoh, Y. Kazumata, S. Miyagawa, K. Morita, R. Shimizu et H. Tawara, dans Energy Dependence of the Yields of Ion-Induced Sputtering of Monatomic Solids (« Dépendance en fonction de l’énergie des rendements de la pulvérisation de solides monoatomiques induite par des ions »), IPPJ-AM-32 (Institut de physique des plasmas, Université de Nagoya, Japon, 1983). Note : Page web permettant de calculer rapidement le rendement de pulvérisation approximatif, en fonction du matériau à pulvériser (dont est constituée la cible), des projectiles (atomes ou ions utilisés pour bombarder la cible) et de l’énergie de ces derniers.
Variantes
- sputtering yield (cf. pour autres informations)
Voir aussi
- sputtering sur l’encyclopédie Wikipédia (en anglais)
